目前最先进的芯片制造设备是荷兰ASML公司的极紫外光刻机（EUV），它采用了最先进的技术和工艺，可以将芯片的特征尺寸缩小到几纳米级别，是制造高端芯片的必备设备。

此外，日本东京毅力科技公司的电子束光刻机也是非常先进的芯片制造设备之一，它可以实现更高的分辨率和更精确的制程控制。