- 春秋战国时期：佛山属于南越。
- 秦朝：秦统一岭南后，佛山隶属南海郡番禺县。
- 汉朝：秦末汉初，佛山归南越国辖；汉武帝元鼎六年（公元前111年）灭南越国，设置9郡，佛山归南海郡番禺县辖。
- 三国：吴国于黄武五年（225年）在交州东部地区设置广州，直至南北朝。
- 隋朝至明朝：佛山属南海县（原番禺县）。
- 明朝：佛山区域分属南海县、顺德县、三水县、高明县，其中市中心属南海县。
清朝：佛山镇在明清两朝非常闻名，属于全国的四大名镇之一。
民国时期：国民政府鉴于佛山镇的重要地位，于1925年批准佛山从南海县分出，成立佛山市。1927年，佛山市政府正式成立，隶属广东省管辖。佛山市区域分属南海县、顺德县、三水县、高明县，其中市中心属南海县。
新中国成立后：1950年，佛山市升为地级市，隶属珠江专区。1952年，撤销珠江专区，佛山市改为省辖市，由广东省直接管辖。1955年，佛山市降为县级市，由佛山专区管辖。1970年，佛山专区更名为佛山地区。1983年，撤销佛山地区，实行市管县体制，南海县、顺德县、三水县、高明县划归佛山市管辖。1994年，设立三水市（县级市）、高明市（县级市）。2002年，撤销顺德市（县级市），设立顺德区。2003年，撤销三水市（县级市），设立三水区。至此，佛山市形成目前的区划格局。